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2018.02.20 制造衍射光学元件的未提供激光技术

浏览数:520  发表时间:2018-06-14  [ ]

项目名称:

制造衍射光学元件的未提供激光技术

所属领域:

新材料

所属国家:

俄罗斯

所属平台:

俄罗斯国家科学院西伯利亚分院

所属机构:

俄罗斯科学院自动化与电子学研究所

项目概述:

特点

高效衍射光学元件的发展带来了制造半色调光掩模的基本新任务。

    俄罗斯科学院的自动化和电子测量研究所已经开发了在介质上直接激光记录半色调光掩模的方法,其在激光辐射的作用下改变透射系数:LDW玻璃和非晶硅薄膜。

为了实现新技术,开发了圆形激光记录系统(CLS)。 在CLCS中,带有记录材料的基板随着空气静压主轴旋转,氩激光器的聚焦光束(直径0.5μm)沿基板半径以0.1μm的精度移动。 束功率的调制与衬底的旋转同步进行。

(a)- 用于半导体激光器累积光学的半色调DOE掩模;

(b) - 直径10毫米和20毫米的菲涅耳透镜石英;

(c) - 硅衬底上的菲涅耳透镜(透镜直径-5毫米,N.A. = 0.58);

(d)- 半径为50毫米的半色调掩模,用于在硅衬底上制作菲涅耳透镜,比例为1:10。

创新点和主要优势:

技术和经济优势

•简化制造过程;

•提高制造精度;

•在曲面上记录的能力;

•在大而厚的衬底上记录的可能性;

•能够记录激光束的各种速度(从μm/ s到m / s)以及各种波长范围内的速度。

应用领域

衍射光学元件和微光学元件的生产。

实际执行的水平和地点

圆形激光记录系统的原型已经创建。

建议合作方式:

专利保护

俄罗斯联邦的专利(1990年)。

商业优惠

光纤电缆,半色调光掩模,衍射元件的生产和供应合同。

预计成本

圆形激光录制系统 - 200-250美元。

半色调光掩膜 - 1-5000美元。

用于根据参数控制非球面表面的精密衍射元件 - 1万美元。

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